adres

1666 Jianye Road, Hoëtegnologie-sone, Leshan City, Sichuan Provinsie, China.

telefoon nommer +86 15390206217

Chemikalieë vir halfgeleierprosesse

cc09bd33a0ddd2aaadac4a8a4d3008a1Halfgeleiervervaardiging is grootliks 'n chemies verwante proses, met tot 20% van die prosesstappe skoonmaak en wafeloppervlakvoorbereiding:

Ons is gewoond daaraan om te verwys na die chemiese materiale wat in wafelvervaardiging gebruik word as proseschemikalieë, wat in verskillende chemiese vorms (vloeibaar en gasvormig) voorkom en streng in suiwerheid beheer word.Die hooffunksies van hierdie proseschemikalieë is soos volg:

Maak die wafeloppervlak skoon met nat chemiese oplossing en ultrasuiwer water;

Doping van silikonwafels met hoë-energie-ione om P-tipe of N-tipe silikonmateriale te verkry;

Afsetting van verskillende metaalgeleierlae en nodige diëlektriese lae tussen geleierlae;

Genereer 'n dun SiO2-laag as die hoofhek diëlektriese materiaal van MOS-toestelle;

Gebruik plasma verbeterde ets of nat reagense om materiaal selektief te verwyder en die verlangde patroon op die film te vorm;

Vloeibare hoë-suiwer reagense word in drie grade geklassifiseer: UP-S, UP en EL volgens hul suiwerheid, en EL word verder verdeel in:

Elektroniese graad 1 (EL-Ⅰ)
het 'n metaal onsuiwerheid inhoud van 100-1000 PPb, wat gelykstaande is aan die SEMI C1 C2 standaard;

Elektroniese graad 2 (EL-Ⅱ)
sy metaal onsuiwerheid inhoud is 10-100 PPb, gelykstaande aan SEMI C7 standaard;

Elektroniese graad 3 (EL-Ⅲ)
het 'n metaal onsuiwerheid inhoud van 1-10 PPb, wat gelykstaande is aan die SEMI C7 standaard;

Elektroniese graad 4 (EL-IV)
het 'n metaal onsuiwerheid inhoud van 0,1-1PPb, wat gelykstaande is aan die SEMI C8 standaard;

Ultra-skoon en hoë-suiwer reagense is internasionaal bekend as proses chemikalieë, ook bekend as nat chemikalieë, en is een van die belangrikste basiese chemiese materiale in die produksie proses van geïntegreerde stroombane (IC) en baie grootskaalse geïntegreerde stroombane (VLSI) .Dit word ook gebruik vir die skoonmaak en ets van silikonwafeloppervlak.Die suiwerheid en netheid van ultra-skoon en hoë-suiwer reagense het 'n baie belangrike impak op die opbrengs, elektriese eienskappe en betroubaarheid van geïntegreerde stroombane.Daar is baie variëteite van elektroniese graad chemikalieë en hoë tegniese vereistes.Dit is gebaseer op die ontwikkeling van mikro-elektroniese tegnologie.Met die ontwikkeling van mikro-elektroniese tegnologie ontwikkel dit sinchronies of voor die tyd.Terselfdertyd beperk dit die ontwikkeling van mikro-elektroniese tegnologie.


Postyd: 23-Jun-2022